Bronkhorst®型号FG-110C高性能质量流量计(MFM)适用于在真空和100巴之间的操作压力下测量0,014 … 0,7 mln / min和0,18 … 9 mln / min的流量范围。 MFM由热质量流量传感器和基于微处理器的印刷电路板组成,带有信号和现场总线转换,以及PID控制器,可通过单独安装的控制阀进行可选的质量流量控制。
Bronkhorst高性能气体质量流量控制器
Bronkhorst质量流量计应用领域
分析/环保设备
在食品,化学和石化行业中气体流量的监控
气体消耗监测和核算
通过相应对象来检测气体的泄漏情况
半导体制造业
表面处理装置